型號(hào)：PT-15S
供電電源： AC220V
工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率：0-300W/ 0-600W
射頻頻率： 40KHz（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動(dòng)匹配
真空度： 30Pa—100Pa
氣體流量： 10—160ml/min(可調(diào))
過(guò)程控制： MCU自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大?。?10%-100%可調(diào)

內(nèi)腔尺寸： 260mm×320mm×200mm

外形尺寸： PT-15S型_580×600×480
重量： 75Kg
真空泵： 飛越 VRD-8（含油霧過(guò)濾器）
真空室溫度： 小于65°C

冷卻方式： 強(qiáng)制冷風(fēng)

【等離子清洗機(jī)應(yīng)用及原理】   

一、金屬表面去油及清潔 

      金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果： 

  1.1灰化表面有機(jī)層 

      －表面會(huì)受到化學(xué)轟擊（氧 下圖）

 －在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā) 

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出 

－紫外輻射破壞污染物 

   因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 

1.2氧化物去除 

金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（下圖）

 

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。 

1.3焊接 

通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。

1.4鍵合 

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。

二、等離子刻蝕 

在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣相（例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(lái)（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。 

 

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過(guò)氧氣可以灰化填充混合物，同時(shí)得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤(rùn)濕面積。 

三、刻蝕和灰化 

PTFE刻蝕 

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境，還能達(dá)到更好效果。（下圖） 

        

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面最大化，同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層，這樣塑料就能夠進(jìn)行粘合、印刷操作。 

      

PTFE混合物的刻蝕 

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細(xì)地進(jìn)行，以免填充物被過(guò)度暴露，從而削弱粘合力。

     

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣。可以應(yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔 

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。同時(shí)，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會(huì)損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。 

·           不需要用溶劑進(jìn)行預(yù)處理 

·           所有的塑料都能應(yīng)用 

·           具有環(huán)保意義 

·           占用很小工作空間 

·           成本低廉 

等離子表面處理的效果可以簡(jiǎn)單地用水來(lái)驗(yàn)證，處理過(guò)的樣品表面完全被水潤(rùn)濕。長(zhǎng)時(shí)間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會(huì)被刻蝕，刻蝕表面具有潤(rùn)濕能力。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF₄等 

五、等離子涂鍍 

聚合 

            

在涂鍍中兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質(zhì)的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個(gè)微米，此時(shí)表面的親和力非常好。 常用的有3種情況 

·           防水涂鍍—環(huán)己物 

·           類似PTFE材質(zhì)的涂鍍---含氟處理氣體 

·           親水涂鍍---乙烯醋酸 

小型等離子清洗機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)， 與動(dòng)輒十幾萬(wàn)美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn): 

1、可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類和處理程序。 

2、不會(huì)對(duì)人員的身體造成任何傷害。 

3、其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。 

小型等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。 

其具體應(yīng)用包括： 

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化 

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒(méi)有極性的，因此這些材料在進(jìn)行粘合、油漆和涂覆之前要進(jìn)行表面活化處理。 

2、金屬去油及清潔 

金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。 

       焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。 

        鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。

  特 點(diǎn)： 

·     操作簡(jiǎn)便、成本低廉

·     高效真空電極 

·     氣體流量通過(guò)流量計(jì)和針閥實(shí)現(xiàn)精確控制  

·     功率可在200W以內(nèi)調(diào)節(jié)控制（完全能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕） 

·     自動(dòng)阻抗匹配 

·     自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體、壓力 

·     安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門(mén)鎖

【等離子清洗器應(yīng)用方式】

 

1. 等離子清洗

    · 常規(guī)的清洗方法不能完全將材料表面薄膜去除，而會(huì)留下一層很薄的雜質(zhì)層，而且溶劑清洗就是這類典型例子。

    · 等離子清洗器使用就是通過(guò)等離子體對(duì)材料表面的轟擊，輕柔地和完全地對(duì)表面擦洗。

    ·等離子清洗將除去不可見(jiàn)的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物，而且，等離子清洗不會(huì)在表面留下殘余物。

    · 等離子清洗器能夠處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

    ·  等離子清洗器的優(yōu)點(diǎn)在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強(qiáng)材料表面的粘附性能。

 2. 聚合物清洗

  ①  聚合物的表面清洗

    ·  等離子消融作用通過(guò)高能的電子和離子對(duì)材料表面的轟擊，機(jī)械地去除污物層。

    ·  等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過(guò)的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層

  ②  聚合物的表面重組

    ·  等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。

    ·  聚合物表面的自由官能團(tuán)重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團(tuán)成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團(tuán)成鏈。

    ·  聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進(jìn)表面的硬度和化學(xué)抗性。

              ③  聚合物的表面改性

        ·  等離子消融作用破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵，從而導(dǎo)致聚合物表面 自由官能團(tuán)的形成。

        ·  基于等離子過(guò)程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。

        ·  聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會(huì)改變。

   ④ 聚合物的表面鍍膜

  ·  等離子鍍膜是通過(guò)過(guò)程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。

    ·  如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他們?cè)诘入x子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。

        ·  這種聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。

    ⒊  生物材料

      ①. 消毒、殺菌：

        ·  等離子消毒處理在醫(yī)療設(shè)備的消毒殺菌上得到了許多認(rèn)可。

        ·  等離子處理在醫(yī)療器具的同步清洗和消毒上有很大潛力。

        ·  等離子消毒殺菌特別適用于對(duì)高溫、化學(xué)物質(zhì)、照射、過(guò)敏的醫(yī)學(xué)器具或牙科移植物及設(shè)備的清洗。

      ②. 粘附力的提高

        ·  很多生物材料的介質(zhì)表面能量很低，使它很難有效地進(jìn)行粘附和涂層。

        ·  等離子表面活化導(dǎo)致表面功能組的形成，這些功能組將加強(qiáng)生物材料表面能量和改善界面的粘附力。

      ③. 浸潤(rùn)性

        ·  大多數(shù)未處理的生物材料具有很弱的濕潤(rùn)性 (親水性) 。

        ·  等離子表面處理可以增加或減少多種不同的生物材料的親水性。

        ·  通過(guò)等離子活化可使表面親水，通過(guò)等離子鍍膜，可使表面憎水。

      ④. 低摩擦力和阻礙層

        ·  一些材料對(duì)酯和聚合物表面的磨擦系數(shù)很高，如聚氨基甲酸酯。

        ·  等離子涂層具有很小的摩擦系數(shù)，使生物材料表面變得更光滑。

        ·  等離子涂層也能形成一個(gè)較密的阻礙層，來(lái)減少液體或氣體對(duì)生物材料的滲透性。

?低溫等離子表面處理技術(shù)在許多工藝前進(jìn)行，且能達(dá)到事半功倍的效果，這其中應(yīng)用較多的工藝有：粘接預(yù)處理、印刷預(yù)處理、綁定預(yù)處理、焊接預(yù)處理、封裝預(yù)處理等。根據(jù)本身的特性又較多的應(yīng)用于：清洗肉眼看不的灰塵，殘膠，氧化物，積碳等等，使材料表面粗化，激活，親水性增強(qiáng)等。

電子行業(yè)

Led支架、晶圓、IC等的清潔和焊接性增強(qiáng)處理；電子元器件的綁定性增強(qiáng)，PCB和陶瓷基板的激活處理等。

包裝行業(yè)

PET、PP、OPP、UV、紙盒或果醬瓶粘膠前的表面處理，大大降低膠水的使用成本。

印刷行業(yè)

金屬、玻璃、橡膠、塑料、復(fù)合材料等表面絲印、移印前等離子處理，可大大提高油墨的附著力。
標(biāo)簽、果醬瓶、金屬容器、電纜光纖噴碼前等離子預(yù)處理增加其綁定性。

汽車行業(yè)

車燈粘接,鍍鋁,注塑,預(yù)處理;剎車片、點(diǎn)火線圈、引擎控制蓋、保險(xiǎn)杠等可經(jīng)過(guò)等離子清洗技術(shù)得到清洗和
激活,使其綁定性更加牢靠。
車身及零部件的噴漆，鍍膜預(yù)處理等

塑料行業(yè)

塑料與橡膠、金屬、玻璃等的粘接預(yù)處理，經(jīng)過(guò)等離子清洗可大大提高表面活性。
玩具，手機(jī)殼，電腦殼，文具殼等噴漆前預(yù)處理，可提高油墨的附著性。

其他行業(yè)

手機(jī)，生物，航空，軍事，醫(yī)學(xué)，器械，電鍍，微電子等等

真空等離子清洗機(jī):

一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率；

二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
四、采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過(guò)程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生；
八、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物）都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的