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類別：超聲波干式除塵設(shè)備USC
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除塵頭里有一個超聲波發(fā)生腔和倆個真空吸附腔。塵粒在吸附層作用下粘附于玻璃基板表面，要想去除塵粒，必須克服塵粒的粘附力。
通過鼓風(fēng)機(jī)，給除塵頭的超聲波發(fā)生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體，氣體通過超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波，利用超聲波傳播的能量及振動，使塵粒克服玻璃基板表面的粘附力，以拉升、滾動及滑動三種運(yùn)動方式(單一或混合）從玻璃基板表面脫離，使得塵粒從玻璃基板表面分離出來。
除塵頭的真空腔是用來吸附塵粒。當(dāng)塵粒從玻璃基板表面分離出來后，利用超聲波的反射將的塵粒帶動起來，運(yùn)動的塵粒瞬間被清洗頭的真空吸附腔吸走，從而達(dá)到清洗玻璃表面塵粒的效果。
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主要技術(shù)參數(shù) |
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有效清洗長度 |
0-700mm |
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工作風(fēng)壓 |
8-16KPa |
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除塵頭到工件的距離 |
5mm以內(nèi)，1.5mm最佳 |
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除塵頭到機(jī)箱的管長度 |
10米以內(nèi) |
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清潔效率 |
3um塵粒 97%的清除率，6um塵粒 98%清除率 |
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吐出風(fēng)溫度 |
小于45℃ |
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噪音 |
小于80分貝 |
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工作電壓 |
3 相 380V 50/60Hz（可選配三相220V） |
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設(shè)備功能 |
高低頻瞬時啟動，溫度監(jiān)控反饋，風(fēng)壓監(jiān)控反饋，頻率監(jiān)控，PLC控制，參數(shù)觸摸屏設(shè)定,可實(shí)現(xiàn)MES連接 |
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測試條件 與 驗(yàn)收方法 |
測試條件：在100級潔凈室內(nèi)完成，工作高度1.5mm，工作氣壓14KPa，清洗速度 80mm/s，3um間隔粉。 |
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驗(yàn)收方法：在潔凈的清洗玻璃上噴撒間隔粉，目視區(qū)域120-150粒，200倍顯微鏡檢測，清除率達(dá)97%以上。 |
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工作間距：1.5mm.（出風(fēng)全部被吸回?zé)o泄漏的條件下,正壓為在除塵頭入口端口測量的內(nèi)部壓力）
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型號 |
有效 寬幅 |
對應(yīng)機(jī)臺使用功率 |
P (出風(fēng)口） |
V (吸風(fēng)口） |
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|
壓力（KPa） |
流量（L/min） |
壓力（KPa） |
流量（L/min） |
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|
USC-PT-100 |
100mm |
1.5KW |
8 |
800 |
-2 |
900 |
|
12 |
1000 |
-3 |
1100 |
|||
|
16 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
|
USC-PT-200 |
200mm |
1.5KW |
8 |
1500 |
-2 |
2000 |
|
12 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
|
16 |
2500 |
-3 |
3000 |
|||
|
USC-PT-300
|
300mm |
3.0KW |
8 |
2500 |
-2 |
3000 |
|
12 |
3000 |
-3 |
3500 |
|||
|
16 |
3500 |
-3 |
4000 |
|||
|
USC-PT-400
|
400mm |
5.5KW |
8 |
3200 |
-2 |
3500 |
|
12 |
3600 |
-3 |
4000 |
|||
|
16 |
4000 |
-3 |
4300 |
|||
|
USC-PT-700 |
700mm |
5.5KW |
8 |
5600 |
-2 |
6000 |
|
12 |
6000 |
-3 |
6300 |
|||
|
16 |
6500 |
-3 |
6800 |
|||
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